液體氣體混合配比器(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量；質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。

   它們?cè)诎雽?dǎo)體微電子工業(yè)、特種材料研制、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括； 電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

概覽

   液體氣體混合配比器(MFC)和氣體質(zhì)量流量計(jì)(MFM)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行 精密控制和測(cè)量。它們?cè)诎雽?dǎo)體集成電路工藝、特種材料、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán) 保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括： 集成電路工 藝設(shè)備，如外延爐、擴(kuò)散爐、CVD、等離子刻蝕機(jī)、濺射臺(tái)、離子注入機(jī)； 以及鍍膜設(shè)備、 光纖熔煉設(shè)備、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣裝置、毛細(xì)管測(cè)量?jī)x、氣相色譜儀及 其它分析儀器。

CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是七星電子生產(chǎn)的數(shù)字型產(chǎn)品，為氣體質(zhì)量流量的控制、 測(cè)量提供了高準(zhǔn)確度及高可靠性。該型產(chǎn)品可同時(shí)支持?jǐn)?shù)字信號(hào)，0~5V 模擬信號(hào)，4~20mA 或 0~20mA 模擬信號(hào)，可以使用雙電源(±8~±16 VDC)或單電源(+14~+28 VDC)。支持自動(dòng)故障報(bào)警，多氣體多量程等功能。標(biāo)準(zhǔn)開放的通訊協(xié)議為客戶自行開發(fā)控制、采集軟件 提供便利。提供功能強(qiáng)大的免費(fèi)客戶端上位機(jī)軟件 Digital MFC。CS200-C 與 CS200-D 產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬，其中 CS200-C 金屬表面符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)的要求。

CS200-A,C,D MFC 默認(rèn)配置為：
MAC 地址：32；
RS485 通信波特率：19200；
控制方式：0~5V 電壓控制。

更多細(xì)節(jié)請(qǐng)參考產(chǎn)品附帶光盤中的“CS 系列 MFC 通訊協(xié)議"。

標(biāo)定

CS200-A,C,D MFC/MFM 可以按照用戶的要求來標(biāo)定。如果用戶沒有說明工作情況等信息，

則按照標(biāo)準(zhǔn)狀況標(biāo)定。

1、標(biāo)準(zhǔn)狀況

出口壓力：大氣壓
氣體質(zhì)量流量通常用標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量來表示，質(zhì)量流量單位為：

SCCM：標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘
SLM：標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：溫度 0°C (273.15K)
                 氣壓：101325Pa (760mm Hg)

在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下，氣體的密度是一個(gè)常數(shù)，該密度乘以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積就是質(zhì)量數(shù)，所以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。
MFC/MFM 的標(biāo)準(zhǔn)安裝位置為水平安裝，同時(shí)為客戶提供垂直(進(jìn)氣口向上或向下)、平躺及其它位置的安裝，為保證的測(cè)量精度，用戶購(gòu)買時(shí)應(yīng)該說明設(shè)備的安裝方式。

2、制造環(huán)境

CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是在溫度為 22±2°C的 100 級(jí)的凈化間內(nèi)組裝，1000 級(jí)凈化環(huán)境下標(biāo)定及包裝。

3、精度調(diào)節(jié)
CS200-A,C,D 型 MFC/MFM 在制造完成后都要在相應(yīng)的標(biāo)定臺(tái)上烤機(jī) 24 小時(shí)，然后進(jìn)行精確標(biāo)定。精度、動(dòng)態(tài)響應(yīng)、壓力變化的穩(wěn)定性等指標(biāo)須經(jīng)過兩次檢查,合格后方可出廠